Машиностроение (Серия Сигма)

Установки серии Сигма предназначены для нанесения функциональных покрытий методом вакуумного дугового испарения и/или магнетронного распыления в вакууме.

Особенности установки
  • использование в технологическом цикле магнетронных распылительных систем и дуговых испарителей;
  • система DynaArc™ обеспечивает увеличение коэффициента использования материала катодов до 80%;
  • легко масштабируемая система, выполненная по модульной схеме;
  • нагрев деталей и их очистка ионным пучком;
  • карусельное поворотное устройство.
  • система инициации дугового разряда PlasmaJet™, обеспечивающая стабильное поджигание разряда;

 

 

Инновационные технологии
  • RotArc – система, позволяющая увеличить коэффициент использования материала катодов до 80 %;
  • PlasmaJet – система инициации дугового разряда, исключающая сбои при поджиге дуги;
Описание

Установка обеспечивает нанесение износостойких, упрочняющих, термобарьерных, коррозионностойких, антифрикционных и других функциональных покрытий на изделия атомного, космического, авиационного и точного машиностроения: покрытия специального назначения для атомной промышленности, защитные и термобарьерные покрытия на элементы авиационных и электроракетных двигателей, покрытия на узлы трения, в том числе на детали, работающие в условиях космоса, покрытия на режущий инструмент и пресс-формы и матрицы.

Установка позволяет наносить металлы, сплавы, и их соединения: нитриды, карбиды, оксиды металлов. Нанесение покрытий осуществляется дуговыми испарителями и магнетронными распылительными системами, предусмотрена система прогрева напыляемых деталей. Очистка деталей осуществляется протяжённым источником ионов.

Установка имеет модульную конструкцию и поставляется с унифицированными легко масштабируемыми технологическими модулями. Это позволяет в кратчайшие сроки модифицировать установку под новые задачи.

Вакуумная камера имеет D-образную форму. На боковых фланцах вакуумной камеры расположены модульные системы дугового испарения, магнетроны и источник ионов. В одном процессе может осуществляться испарение вакуумной дугой 4-х различных материалов и магнетронное распыление 2-х различных материалов. Применение системы DynaArc™ и RotArc™ позволяет увеличить коэффициент использования материала до 80%. В дуговых испарителях применяется система инициации дуги PlasmaJet™, обеспечивающая стабильное поджигание разряда. При смене катодов исключается протечка охлаждающей жидкости в вакуумную камеру при любом положении устройств.

Кассета с обрабатываемыми деталями крепится на карусели, на которую подаётся потенциал смещения до 1500 В в импульсном, биполярном режиме или в режиме постоянного тока. Источник питания смещения обеспечивает возможность активного подавления дугообразования.

Контроль температуры подложек проводится бесконтактным методом широкодиапазонным пирометром. Для визуального контроля технологического процесса предусмотрено смотровое окно. Система напуска газа трёхканальная (аргон, азот, углеводороды, кислород и др.).

Сухой (безмасляный) вакуум обеспечивается спиральным насосом и турбомолекулярным насосом. Предельное остаточное давление для чистой камеры после 30 минут откачки составляет не более 6х10-4 Па.

Технические характеристики

  Сигма-700 Сигма-900
Рабочая зона (Ш х В), мм 700 х 830 900 х 1200
Испаряемые (распыляемые) материалы Ti, Cu, Cr, Zr, Ni, пермаллой, Al, Si, сплавы и другие (С – опция)
Осаждаемые покрытия нитриды, карбиды, оксиды металлов (алмазоподобные покрытия (DLC) – опция)
Количество магнетронов 2
Мощность магнетронов, кВТ до 20 до 20
Количество дуговых испарителей 4 6
Ток дуговых испарителей, А до 150 до 150
Масса загрузки, кг 300 500
Количество каналов газоподачи 3
Откачная система безмасляная, на основе турбомолекулярного и спирального насосов
Производительность откачной системы, л/с 3200
Предельное остаточное давление, Па 6∙10-4 (безмасляный вакуум)
Установочная мощность, кВт 50 80
Требования к лабораторным сетям Система оборотного водяного охлаждения, сжатый воздух, электросеть 3х380В + РЕ + N
Габариты установки (Ш х Г х В), мм 1300 х 2300 х 2100 1500 х 2400 х 2400
Масса установки, кг 1500 1900

Схема установки

Схема установки

Данные установки можно посмотреть в нашем демо-зале. Помимо них там представлены ещё множество други образцов наших возможностей по напылению и т.п. Наш демо-зал находится по адресу Москва, ул. 2-я Бауманская, д.14.

Подробнее о демо-зале Вы можете узнать в соответствующем разделе.

Любую установку есть возможность изготовить с необходимыми Вам характеристиками и комплектацией.