Микроэлектроника (Серия Бета)

Установки серии Бета предназначены для нанесения проводящих, резистивных и полупроводниковых покрытий методом магнетронного распыления в вакууме на детали радиоэлектронной промышленности.

Особенности установки
  • система управления параметрами работы магнетронов MagniFlex™
  • распыление ферромагнитных материалов;
  • нагрев подложек и очистка их ионным пучком;
  • двустороннее осаждение покрытий (опция);
  • контроль параметров осаждаемого покрытия;
  • не требует подключения к оборотной воде предприятия и пневматической системе;
  • малая площадь, занимаемая установкой.
Инновационные технологии
  • MagniFlex™ – система управления параметрами работы магнетронов.
Описание

Установка обеспечивает нанесение проводящих, резистивных и полупроводниковых покрытий методом магнетронного распыления на подложки из керамики, полупроводников, стекла или металла при производстве радиоэлектронных компонентов: формирование контактных площадок, дорожек проводимости, пассивных радиоэлектронных компонентов, создание защитных и барьерных слоёв и т.п. Установка также обеспечивает возможность нанесения ферромагнитных покрытий.

Вакуумная камера имеет вертикально расположенную цилиндрическую конструкцию. Магнетроны и источник ионов размещены на днище камеры и позволяют наносить многослойные покрытия. Подложки располагаются над магнетронами на электроизолированном поворотном устройстве, обеспечивающем вращение подложек и точное их позиционирование. Такая компоновка позволяет минимизировать попадание пылевых частиц на обрабатываемую положку. Нагрев подложек обеспечивается кварцевым нагревателем. Контроль сопротивления и температуры подложек проводится по образцу-свидетелю, располагаемому на подложкодержателе. Предусмотрено также измерение температуры подложек бесконтактным методом (широкодиапазонным пирометром). Для визуального контроля технологического процесса предусмотрено смотровое окно.

Магнетроны оснащены уникальной системой динамического управления параметрами работы магнетронных систем MagniFlex™, что позволяет получать тонкие плёнки с точно заданными параметрами. Катоды магнетронов могут быть изготовлены из таких материалов, как медь, титан, хром, резистивные сплавы (РС), ванадий, а также из ферромагнитных материалов, таких как никель или пермаллой. Диаметр катодов 105 мм (50 мм – опция). При смене катодов исключается протечка охлаждающей жидкости в вакуумную камеру при любом положении устройств. Система напуска газа трёхканальная.

Безмасляный вакуум обеспечивается с помощью формакуумного многоступенчатого насоса Рутса и турбомолекулярного высоковакуумного насоса. Предельное остаточное давление для чистой камеры после 30 минут откачки составляет не более 6∙10-4 Па.

Для работы установки необходимо только обеспечение электроэнергией. Система охлаждения установки имеет собственный замкнутый контур циркуляции теплоносителя и чиллер. Подключения к внешнему источнику воды и магистрали сжатого воздуха не требуется.

Технические характеристики

  Бета-500 Бета-700
Рабочая зона (диаметр х высота), мм 500 х 300 700 х 350
Материалы осаждаемых плёнок Ti, Cu, Cr, Ni, пермаллой, Al, резистивные сплавы, V, ITO и другие
Количество одновременно распыляемых материалов от 1 до 3 до 5
Поворотное устройство Одностороннее нанесение покрытий (двустороннее – опция)
Рабочее напряжение, В до 800
Рабочий ток магнетрона, А до 6
Управление параметрами работы магнетронов Система MagniFlex™
Ионная очистка Цилиндрический ионный источник (протяжённый – опция) Протяжённый источник ионов
Количество каналов газоподачи 3
Предельное остаточное давление, Па 6∙10-4  (безмасляный вакуум)
Установочная мощность, кВт 10 15
Габариты установки (Ш х Г х В), мм 1700 х 850 х 2000 1850 х 850 х 2200
Масса установки, кг 900 1100

Схема установки

Схема установки

Данные установки можно посмотреть в нашем демо-зале. Помимо них там представлены ещё множество други образцов наших возможностей по напылению и т.п. Наш демо-зал находится по адресу Москва, ул. 2-я Бауманская, д.14.

Подробнее о демо-зале Вы можете узнать в соответствующем разделе.

Любую установку есть возможность изготовить с необходимыми Вам характеристиками и комплектацией.