Оптика (Серия Гамма)

Установки серии Гамма предназначены для нанесения оптических интерференционных покрытий методом электронно-лучевого испарения и/или методом магнетронного распыления в вакууме.

Особенности установки
  • использование в технологическом цикле электронно-лучевых испарителей и магнетронных распылительных систем (система ионно-лучевого распыления – опция);
  • высокая стабильность осаждения плёнок магнетронным распылением благодаря уникальной системе управления параметрами работы магнетронов MagniFlex™;
  • нагрев, очистка подложек ионным пучком и ионное ассистирование процесса напыления;
  • малое время монтажа и ввода в эксплуатацию установки;
  • создание карты технологических операций (рецептов) с помощью дружественного интерфейса;
  • возможность удалённой диагностики для оперативного решения технических проблем.
Инновационные технологии
  • MagniFlex™ – уникальная система управления параметрами работы магнетронов.
Описание

Установка обеспечивает нанесение отражающих и многослойных оптических интерференционных покрытий на детали лазерной и ИК оптики. Напыление покрытий осуществляется электронно-лучевым испарителем и магнетронными распылительными системами. Магнетронные распылительные системы оснащены уникальной системой MagniFlex™, обеспечивающей гибкое управление рабочими параметрами. Методом электронно-лучевого испарения наносятся покрытия: SiO2, Al2O3, MgF2, ThO2, ZnS, ZrO2, HfO2 и другие. Методом магнетронного распыления осаждаются покрытия: Ag, Al, WO3, In2O3, ZrO2, TiO2 и другие.

Вакуумная камера имеет D-образную форму. Сухой (безмасляный) вакуум обеспечивается с помощью спирального формакуумного насоса и турбомолекулярного высоковакуумного насоса. Предельное остаточное давление для чистой камеры после 30 минут откачки составляет не более 6х10-4 Па.

Электронно-лучевой испаритель, две магнетронные распылительные системы магнетрона с диаметром катода 105 мм и низковольтный источник ионов для ассистирования располагаются на днище вакуумной камеры. Обрабатываемые оптические детали устанавливаются на поворотном устройстве, расположенном в верхней части вакуумной камеры. Поворотное устройство обеспечивает равномерное осаждение покрытий на все обрабатываемые детали. Нагрев подложек осуществляется кварцевыми излучателями.

Для визуального контроля технологического процесса предусмотрено смотровое окно. Система напуска газа трёхканальная. При смене катодов магнетронов исключается протечка охлаждающей жидкости в вакуумную камеру при любом положении устройств. Толщина покрытий контролируется кварцевым резонансным датчиком. Оптические параметры покрытий контролируются панорамной системой оптического контроля, работающей на пропускание и на отражение. Контроль температуры подложек проводится бесконтактным методом широкодиапазонным пирометром.

Технические характеристики

  Гамма-700 Гамма-900
Рабочая зона (Ш х В), мм 700 х 830 900 х 1200
Материалы осаждаемых плёнок SiO2, Al2O3, MgF2, ThO2, ZnS, ZrO2, HfO2, Ag, Al, WO3, In2O3, TiO2
Количество ЭЛИ 1 2
Мощность электронного пучка ЭЛИ, кВт 6
Количество испаряемых ЭЛИ за цикл материалов (тиглей) 4 8 (12 опция)
Количество магнетронов 2
Количество напыляемых деталей Ø100 мм 25 42
Управление параметрами работы магнетронов Система MagniFlex™
Система контроля нанесения покрытия Контролируются коэффициенты отражения и пропускания неподвижного свидетеля и обрабатываемых изделий
Количество каналов газоподачи 4
Откачная система безмасляная на основе турбомолекулярного и спирального насосов
Производительность откачной системы, л/с 3200
Предельное остаточное давление, Па 6∙10-4
Возможность встраивания в чистую комнату опция
Установочная мощность, кВт 25 35
Требования к лабораторным сетям Система оборотного водяного охлаждения, сжатый воздух, электросеть 3х380В + PE +N
Габариты установки (Ш х Г х В), мм 1300 х 2300 х 2500 1500х2400х2500
Масса установки, кг 1500 1700

Схема установки

Схема установки

Данные установки можно посмотреть в нашем демо-зале. Помимо них там представлены ещё множество други образцов наших возможностей по напылению и т.п. Наш демо-зал находится по адресу Москва, ул. 2-я Бауманская, д.14.

Подробнее о демо-зале Вы можете узнать в соответствующем разделе.

Любую установку есть возможность изготовить с необходимыми Вам характеристиками и комплектацией.