Технологические ионные источники

В настоящее время источники ионов широко используются в технике для осуществления различных технологических процессов: очистки и активации поверхности перед нанесением покрытия, размерной обработки поверхности прецизионных деталей, пассивирования поверхности металлов, синтеза алмазоподобных пленок на поверхности твердого тела, либо удаления пленок с этой поверхности. Кроме того, ионные источники применяются для различных исследований: исследования взаимодействия ионных пучков с плазмой или с поверхностью твердого тела, исследований в области высокотемпературной химии, микроанализа поверхности твердого тела.

Научно-производственное предприятие «УВН» производит ионные источники с азимутальным дрейфом электронов, имеющие различные размеры и форму ионного пучка. Благодаря простоте конструкции и использованию постоянных магнитов, такие ионные источники просты в эксплуатации и обслуживании и имеют долгий срок службы. Возможна разработка устройств по техническому заданию заказчика.