Магнетроны

Магнетронная распылительная система (МРС) является одним из наиболее перспективных технологических устройств в ионно-плазменной технологии. Магнетроны применяются при создании гибких печатных плат, легких электростатических экранов и экранно-вакуумной изоляции для космической техники, энергосберегающего остекления, экранов систем отображения информации. Особенно выгодно применять МРС для нанесения многослойных покрытий в машиностроении, оптике, электронике. МРС позволяют распылять и наносить покрытия из практически любых металлов, сплавов, проводящих и диэлектрических керамик, при этом толщина покрытия может составлять от нескольких нанометров до нескольких десятков микрометров. Методом магнетронного распыления получают износостойкие покрытия высочайшей твердости, сварочные фольги, специальные оптические покрытия (например, зеркала и интерференционные фильтры, работающие в жестком ультрафиолетовом или рентгеновском излучении), покрытия со специальными электрофизическими свойствами, например, пленки с эффектом «гигантского магнитного сопротивления» (GMR-эффект), которые используются для создания чувствительных датчиков магнитного поля или головок чтения информации в современных жестких дисках компьютеров.