Ионные источники с кольцевым пучком

Ионные холловские источники с кольцевым пучком наиболее распространены в современных технологических установках и оптимальны для обработки поверхности малогабаритных изделий, расположенных на вращающемся подложкодержателе. Такие источники просты в эксплуатации и настройке и обеспечивают низкие тепловые нагрузки на обрабатываемой подложке.

Технические характеристики

  ИИ-40 ИИ-100 ИИ-200
Диаметр канала, мм 40 100 200
Ширина канала, мм 2 5 5
Напряжение разряда, В до 3500 до 3500 до 3500
Ток разряда, мА до 70 до 150 до 250
Ионный ток пучка, мА до 65 до 135 до 225
Массовый КПД 0,15 0,08 0,06
Средняя энергия ионов, эВ до 2500 до 2500 до 2500
Посадочный фланец DN 100 ISO-F / по чертежу заказчика DN 160 ISO-F / по чертежу заказчика DN 250 ISO-F / по чертежу заказчика
Расход охлаждающей воды, л/мин 0,2 0,4 0,7