Магнетронные распылительные системы с дисковым катодом

Научно-производственное предприятие «УВН» производит магнетронные распылительные системы с дисковыми катодами диаметром 50 мм (МРС50) и 105 мм (МРС105). Устройства могут иметь как фланцевое, так и внутрикамерное исполнения. Конструкция катодного узла магнетронов позволяет при горизонтальной установке распылять материал мишени как из твердого, так и из жидкого состояния, что позволяет значительно увеличить скорость роста пленки. Кроме того, при работе с жидкометаллическим катодом пары распыляемого материала катода одновременно являются плазмообразующей средой, что позволяет производить нанесение покрытия при остаточном давлении в вакуумной камере, значительно увеличивая чистоту получаемых пленок. Магнитные системы предлагаемых магнетронов позволяют распылять как немагнитные, так и ферромагнитные материалы.

МРС105 по желанию Заказчика может быть оснащена магнитной системой, выполненной на постоянных магнитах, или уникальной системой управления параметрами разряда MagniFlex™, позволяющей увеличить коэффициент использования материала мишени, обеспечить стабильную работу устройства независимо от глубины выработки катода, управлять ионными потоками на подложку, изменять степень разбалансированности. Кроме того, электромагнитная система позволяет стабилизировать рабочую точку при нанесении покрытий в среде реактивных газов.

При необходимости, магнетронные распылительные системы могут оснащаться холловским ионным источником для проведения процессов нанесения покрытий с ионным ассистированием.

Технические характеристики

МРС50 МРС105
Диаметр катода, мм 50 (2 дюйма) 100 (4 дюйма)
Толщина катода, мм 3 – 6 4 – 10
Ток разряда, А до 1,5 до 8
Напряжение разряда, В до 700 до 700
Рабочее давление, Торр 4·10-4 – 1·10-2 1·10-4 – 1·10-2
Коэффициент использования материала до 35% до 40%
Магнитная система На постоянных магнитах. Сбалансированная или несбалансированная На постоянных магнитах / электромагнитная (опция)
Оптимизация выработки катода нет опция
Возможность распыления из жидкой фазы опция опция
Распыление ферромагнитных материалов да да
Посадочный фланец DN 100 ISO-F / по чертежу заказчика DN 160 ISO-F / по чертежу заказчика
Мощность, Вт до 750 до 3500
Расход охлаждающей воды, л/мин 0,85 4