Магнетронные распылительные системы с плоским протяженным катодом

Магнетронные распылительные системы с плоскими протяженными катодами применяются для нанесения покрытий на крупногабаритные изделия, или на большое количество деталей, установленных на планетарный подложкодержатель. Применение протяженных магнетронных распылительных систем позволяет обеспечить наилучшую равномерность толщины наносимого покрытия. Такие системы идеально подходят для нанесения покрытий на рулонные материалы и крупногабаритное архитектурное стекло.

Научно-производственное предприятие «УВН» производит протяженные МРС длиной до 3 м и использующие в качестве катодов немагнитные и ферромагнитные материалы. В зависимости от поставленной задачи МРС могут комплектоваться магнитными системами с разной степенью разбалансированности. Монтаж магнетронов осуществляется на два фланца DN40, либо на нестандартные фланцы по эскизу Заказчика.

Технические характеристики

Параметр Значение
Длина катода, мм 250 – 3000
Ширина катода, мм 100
Толщина катода, мм 4 – 12
Напряжение разряда, В до 700
Рабочее давление, Торр 4·10-4 – 1·10-2
Коэффициент использования материала до 25%
Магнитная система На постоянных магнитах, сбалансированная или несбалансированная
Распыление ферромагнитных материалов да
Посадочный фланец 2хISO-KF DN40 / по чертежу заказчика
Мощность, кВт до 50 (в зависимости от длины)
Расход охлаждающей воды Зависит от мощности