Многоканальные ионные источники

Многоканальные ионные источники имеют широкий ионный пучок с равномерным распределением плотности ионного тока по радиусу, благодаря чему они идеальны для обработки неподвижных подложек, а также для синтеза равномерных алмазоподобных покрытий.

Технические характеристики

ИИ-50 ИИ-120 ИИ-200
Диаметр ионного пучка, мм 2 5 5
Напряжение разряда, В до 3500 до 3500 до 3500
Ток разряда, мА до 100 до 300 до 450
Ионный ток пучка, мА до 65 до 250 до 350
Массовый КПД 0,08 0,06 0,045
Средняя энергия ионов, эВ до 2500 до 2500 до 2500
Посадочный фланец DN 100 ISO-F / по чертежу заказчика DN 160 ISO-F / по чертежу заказчика DN 250 ISO-F / по чертежу заказчика
Расход охлаждающей воды, л/мин 0,25 0,625 1,1