Протяженный планарный вакуумный дуговой испаритель

В таких испарителях применяются протяженные катоды из толстостенного листового материала. Для обеспечения равномерности выработки по длине устройства используются магнитные системы, аналогичные магнитным системам планарных магнетронов.

Планарные дуговые испарители предназначены для нанесения равномерных покрытий на крупногабаритные изделия, или большие партии деталей в случаях, когда недопустимы большие тепловые нагрузки на подложку. По сравнению с применением нескольких торцевых испарителей обеспечивают большую равномерность, но меньшую скорость роста покрытий. Испаритель может изготавливаться для катодов длиной от 200 до 2000 мм в зависимости от технического задания.

Монтаж испарителя осуществляется на два фланца DN40 (возможна комплектация испарителя нестандартными фланцами по чертежам Заказчика). Путем перенастройки магнитной системы может быть быстро переоборудован в протяженную магнетронную распылительную систему.

Технические характеристики

Параметр Значение
Длина катода, мм от 200 до 2000
Ширина катода, мм 100
Толщина катода, мм до 15
Ток разряда, А до 150
Напряжение разряда, В 18 – 22
Коэффициент использования материала до 45%
Управление траекторией катодного пятна магнитное
Устройство зажигания разряда импульсное
Количество устройств зажигания 2
Ресурс устройства зажигания 15000 импульсов
Посадочный фланец 2хISO-KF DN40 / по чертежу заказчика
Мощность, Вт до 3300
Расход охлаждающей воды, л/мин 2,3