Торцевой вакуумный дуговой испаритель с изменяемым положением катода

Конструкция дугового испарителя позволяет оперативно изменять положение устройства относительно подложки в широких пределах. По желанию заказчика испаритель может быть оснащен системой косвенного охлаждения, позволяющей производить смену катода без слива охлаждающей жидкости. Вся процедура в этом случае занимает не более одной минуты.

Технические характеристики

  ТДИ – 100
Диаметр катода, мм 100
Толщина катода, мм 35
Ток разряда, А до 100
Напряжение разряда, В 18 – 22
Коэффициент использования материала До 45%
Магнитная система RotArc™ (опция)
Устройство зажигания разряда PlasmaJet™
Посадочный фланец по чертежу заказчика
Мощность, Вт до 2500
Расход охлаждающей воды, л./мин 1,7