Торцевой вакуумный дуговой испаритель с изменяемым положением катода

Дуговой испаритель серии ВКДИ-100 имеет внутрикамерное исполнение c креплением на фланце вакуумной камеры. Такое решение позволяет оперативно изменять положение устройства относительно подложки в широких пределах. По желанию заказчика испаритель может быть оснащён системой косвенного охлаждения катода, позволяющей производить его замену без слива охлаждающей жидкости. Вся процедура замены в этом случае занимает не более одной минуты.

Технические характеристики

ВКДИ-100
Диаметр катода, мм 100
Толщина катода, мм 40
Материал катода Ti, Cr, Zr, Al, Cu, их сплавы, нерж. сталь
Ток разряда, А до 150
Напряжение разряда, В 18 – 22
Коэффициент использования материала До 45 %
Управление движением катодной привязкой нет
Устройство зажигания разряда PlasmaJet™
Посадочный фланец DN64 ISO-F/ по чертежу заказчика
Мощность, Вт до 3300
Расход охлаждающей воды л/мин 2