Оптическая промышленность (Серия Гамма)
Установки серии Гамма предназначены для нанесения оптических интерференционных покрытий методом электронно-лучевого или резистивного испарения, а также зеркальных покрытий методом магнетронного распыления в вакууме.
Установка обеспечивает нанесение отражающих и многослойных оптических интерференционных покрытий на детали лазерной и ИК оптики. Напыление покрытий осуществляется при помощи электронно-лучевых и/или резистивных испарителей, а также магнетронных распылительных систем. Магнетронные распылительные системы оснащены уникальной системой MagniFlex™, обеспечивающей гибкое управление рабочими параметрами. Методом электронно-лучевого испарения наносятся покрытия: SiO2, Al2O3, MgF2, ThO2, ZnS, ZrO2, HfO2 и другие. Методом магнетронного распыления осаждаются покрытия: Ag, Al, WO3, In2O3, ZrO2, TiO2 и другие.
Вакуумная камера имеет D-образную форму. Сухой (безмасляный) вакуум обеспечивается с помощью спирального форвакуумного насоса и турбомолекулярного высоковакуумного насоса. Остаточное давление для чистой камеры после 30 минут откачки составляет не более 6х10-4 Па.
Технологические устройства располагаются на днище вакуумной камеры. При необходимости установка оснащается низковольтным ионным источником для ассистирования и системой ионного распыления. Обрабатываемые оптические детали устанавливаются на поворотном устройстве, расположенном в верхней части вакуумной камеры. По требованию Заказчика установка может оснащаться плоским, сферическим, или планетарным подложкодержателем. Нагрев подложек осуществляется кварцевыми ИК-излучателями, которые могут работать одновременно с источниками плазмы.
Для визуального контроля технологического процесса предусмотрено смотровое окно. Система напуска газа трёхканальная. При смене катодов магнетронов исключается протечка охлаждающей жидкости в вакуумную камеру при любом положении устройств. Толщина покрытий контролируется кварцевыми датчиками толщины. Оптические параметры покрытий контролируются панорамной системой оптического контроля, работающей на пропускание и на отражение. Контроль температуры подложек проводится бесконтактным методом широкодиапазонным пирометром. 
Технические характеристики
| Гамма-700 | Гамма-900 | |
| Рабочая зона (Ш х В), мм | 700 х 830 | 900 х 1200 |
| Материалы осаждаемых плёнок | SiO2, Al2O3, MgF2, ThO2, ZnS, ZrO2, HfO2, Ag, Al, WO3, In2O3, TiO2 | |
| Количество ЭЛИ | до 2* | |
| Мощность электронного пучка ЭЛИ, кВт | 3 — 10 | |
| Количество резистивных испарителей | до 2* | |
| Количество магнетронов | до 2* | |
| Количество напыляемых деталей Ø100 мм | 25 | 42 |
| Управление параметрами работы магнетронов | Система MagniFlex™ | |
| Количество каналов газоподачи | 3 | |
| Предельное остаточное давление, Па | 1∙10-4 (безмасляный вакуум) | |
| Потребляемая мощность, кВт | 20 | 30 |
| Габариты установки (Ш х Г х В), мм | 1300 х 2300 х 2500 | 1500х2400х2500 |
| Масса установки, кг | 1500 | 1700 |
* — при одновременном размещении в вакуумной камере электронно-лучевых и резистивных испарителей, а также магнетронных распылительных систем, их количество согласовывается отдельно.
Схема установки
Если у Вас возникли вопросы по оборудованию, и Вы готовы их обсудить напрямую с разработчиками, приглашаем Вас посетить наш демонстрационный зал. Кроме того, мы с радостью готовы предоставить Вам возможность познакомиться с оборудованием в живую, поскольку подключенная ко всем необходимым коммуникациям модель Гамма 700 представлена в нашем демонстрационном зале.
Обращаем Ваше внимание, мы готовы обсуждать любую модернизацию базовых моделей установок и технологических устройств, чтобы удовлетворить потребности Заказчика. Если Вы еще не определились с детальными требованиями к необходимому Вам оборудованию, квалифицированные специалисты помогут составить техническое задание и оптимально решить Вашу задачу.
