Протяженный цилиндрический вакуумный дуговой испаритель

Цилиндрические вакуумные дуговые испарители оснащаются катодами, изготовленными из толстостенных труб стандартных размеров. Материалом труб может служить нержавеющая сталь, титан, цирконий и др. Изготавливать катоды из стандартных труб проще, чем из листового материала.

Дуговой испаритель (один или несколько по окружности) закрепляется на стенке вакуумной камеры. Катодная привязка горит только на рабочей поверхности катода, обращённой в сторону расположения напыляемых деталей. Со стороны вакуумной камеры разряд не горит. После выработки материала на одной стороне катод может быть повернут на 180 градусов, что позволит выработать материал на противоположной стороне катода. Такое решение позволяет упростить изготовление катода и увеличить эффективность использования материала.

Данное техническое решение оправдано, когда необходимо наносить покрытия на длинномерные изделия или большие партии, но нет необходимости напылять толстые покрытия, а катоды изготавливаются из материалов, поставляемых в виде стандартных труб. 

Дуговой испаритель оснащён системой поджига PlasmaContact™, обеспечивающей высокую стабильность и надёжность поджига при высоком ресурсе (до 15000 срабатываний), или PlasmaJet™.

Дуговой испаритель может комплектоваться катодом длиной от 300 до 2000 мм.