Магнетронные распылительные системы с плоским протяженным катодом

Магнетронные распылительные системы с плоскими протяженными катодами применяются для нанесения покрытий на крупногабаритные изделия или на большое количество деталей, установленных на планетарный подложкодержатель. Применение протяженных магнетронных распылительных систем позволяет обеспечить наилучшую равномерность толщины наносимого покрытия. Такие системы идеально подходят для нанесения покрытий на рулонные материалы и крупногабаритное архитектурное стекло.

Научно-производственное предприятие «УВН» производит протяженные МРС длиной до 2 000 мм и использующие в качестве катодов немагнитные и ферромагнитные материалы. В зависимости от поставленной задачи МРС могут комплектоваться магнитными системами с разной степенью разбалансированности.