Торцевые вакуумные дуговые испарители

В торцевых вакуумных дуговых испарителях применяются цилиндрические катоды диаметром, как правило, от 50 до 180 мм, с торцевой поверхности которых происходит испарение материала. Преимуществом таких испарителей является возможность установки на стандартные фланцы ISO-F/ISO-K или другие фланцы соответствующих размеров. Благодаря этому технологией вакуумного дугового испарения могут быть оснащены любые вакуумные установки. 

Так как поток испарённого материала в дуговом испарителе пропорционален току разряда, использование кластеров торцевых дуговых испарителей (установленных в ряд нескольких устройств), идеально подходит для нанесения равномерных покрытий на крупную партию деталей, либо на крупногабаритные изделия без потери производительности толщиной до 20 мкм и более. 

Испаритель серии ТДИ-150 по желанию Заказчика может быть оснащён уникальными системами оптимизации выработки катода DynaArc™ или RotArc™. Инициация разряда обеспечивается системой поджига PlasmaJet™, обеспечивающей надёжный, стабильный и уверенный поджиг разряда. Ресурс устройства поджига не менее 2500 срабатываний.

Дуговой испаритель серии ВКДИ-100 имеет внутрикамерное исполнение c креплением на фланце вакуумной камеры. Такое решение позволяет оперативно изменять положение устройства относительно подложки в широких пределах. По желанию заказчика испаритель может быть оснащён системой косвенного охлаждения катода, позволяющей производить его замену без слива охлаждающей жидкости. Вся процедура замены в этом случае занимает не более одной минуты.