Магнетронные распылительные системы
Магнетронная распылительная система (МРС) является одним из наиболее распространённых и востребованных технологических устройств в ионно-плазменной технологии. Магнетроны применяются при создании гибких печатных плат, лёгких электростатических экранов и экранно-вакуумной изоляции для космической техники, энергосберегающего остекления, экранов систем отображения информации. Особенно выгодно применять МРС для нанесения многослойных покрытий в машиностроении и электронной промышленности. МРС позволяют наносить покрытия из практически любых металлов и их оксидов, нитридов и карбидов, а также сплавов. Толщина покрытия может составлять от нескольких нанометров до нескольких десятков микрометров. Методом магнетронного распыления получают проводящие и резистивные покрытия, износостойкие покрытия высочайшей твёрдости, сварочные фольги, специальные оптические покрытия (например, зеркала и интерференционные фильтры, работающие в жёстком ультрафиолетовом или рентгеновском излучении), покрытия со специальными электрофизическими свойствами и др.
-
Система управления параметрами разряда MagniFlex™
Магнетронные распылительные системы с диаметром мишени 100 и более миллиметров могут быть оснащены уникальной системой управления параметрами разряда MagniFlex™.
Система MagniFlex™:
— Позволяет распылять мишени из ферромагнетиков и неферромагнетиков без смены магнитной системы;
— обеспечивает коэффициент использования материала мишени не менее 40%;
— обеспечивает уверенное зажигание разряда МРС при рабочих давлениях в вакуумной камере ниже 3х10-4 мм. рт. ст.;
— обеспечивает работу магнитной системы в сбалансированном и разбалансированном режиме с регулированием степени разбалансированности в процессе работы магнетронной распылительной системы;
— обеспечивает постоянство параметров разряда при распылении различных материалов при одной и той же вкладываемой мощности;
— обеспечивает постоянство параметров разряда при любой степени выработки мишени при одной и той же вкладываемой мощности;
— стабилизирует параметры разряда при нанесении покрытий из химических соединений.
Магнитная система MagniFlex™ взаимозаменяема с другими магнитными системами разработки НПП «УВН».
