Магнетронные распылительные системы с дисковым катодом

Научно-производственное предприятие «УВН» производит магнетронные распылительные системы с дисковыми катодами диаметром от 50 мм до 150 мм. Устройства могут иметь как фланцевое, так и внутрикамерное исполнения. Магнитные системы предлагаемых магнетронов позволяют распылять как немагнитные, так и ферромагнитные материалы. Смена магнитной системы осуществляется без демонтажа магнетронов из вакуумной камеры. Конструкция катодного узла магнетронов позволяет при горизонтальной установке распылять материал мишени как из твёрдого, так и из жидкого состояния, что позволяет значительно увеличить скорость роста плёнки. 

В случае необходимости снижения тепловых потоков на подложку анод магнетронных распылительных систем может быть выполнен гальванически отвязанным от вакуумной камеры. Это позволит полностью или частично исключить электронную бомбардировку подложек в процессе нанесения покрытий.