Многоканальные ионные источники

Многоканальные ионные источники имеют широкий ионный пучок с равномерным распределением плотности ионного тока по радиусу, благодаря чему они идеальны для обработки неподвижных подложек, а также для синтеза равномерных алмазоподобных покрытий.

Технические характеристики

	ИИ-200МК
Количество каналов	56
Диаметр ионного пучка, мм	200
Напряжение разряда, В	до 3500
Ток, мА	до 500
Средняя энергия ионов, эВ	до 2500
Посадочный фланец	DN250 ISO-F / по чертежу заказчика
Расход охлаждающей воды, л/мин	5

По согласованию с Заказчиком мы готовы разработать модели других типоразмеров.