Протяженный ионный источник
Протяжённые ионные источники серии ИИП предназначены для обработки поверхности крупногабаритных изделий в составе установок, оснащенных протяженными магнетронными распылительными системами. Такие ионные источники идеальны для работы с листовыми и рулонными материалами, а также для очистки поверхности деталей при большом объёме загрузки.
Технические характеристики
ИИП-500 | |
Длина канала, мм | 500 |
Ширина канала, мм | 80 |
Напряжение разряда, В | до 3500 |
Ток разряда, мА | до 500 |
Посадочный фланец | 2хDN64 ISO-F / по чертежу заказчика |
Расход охлаждающей воды, л/мин | 0,5 |