Протяженный ионный источник

Протяжённые ионные источники серии ИИП предназначены для обработки поверхности крупногабаритных изделий в составе установок, оснащенных протяженными магнетронными распылительными системами. Такие ионные источники идеальны для работы с листовыми и рулонными материалами, а также для очистки поверхности деталей при большом объёме загрузки.

Технические характеристики

ИИП-500
Длина канала, мм 500
Ширина канала, мм 80
Напряжение разряда, В до 3500
Ток разряда, мА до 500
Посадочный фланец 2хDN64 ISO-F / по чертежу заказчика
Расход охлаждающей воды, л/мин 0,5