Протяженный планарный вакуумный дуговой испаритель

В таких испарителях применяются протяженные катоды из толстостенного листового материала. Для обеспечения равномерности выработки по длине устройства используются магнитные системы, аналогичные магнитным системам планарных магнетронов или системы перекоммутации точек токоподвода.

Планарные дуговые испарители предназначены для нанесения равномерных покрытий на крупногабаритные изделия или большие партии деталей в случаях, когда недопустимы большие тепловые нагрузки на подложку. По сравнению с применением нескольких торцевых испарителей обеспечивают большую равномерность, но меньшую скорость роста покрытий. Испаритель может изготавливаться для катодов длиной от 200 до 2000 мм в зависимости от технического задания.

Дуговой испаритель оснащён системой поджига PlasmaContactTM, обеспечивающей высокую стабильность и надёжность поджига при высоком ресурсе устройства (до 15000 срабатываний).

 Монтаж испарителя осуществляется на два фланца DN40 либо на фланцы согласно чертежу Заказчика).