Вакуумные камеры

Вакуумная камера является основным элементом любой вакуумной установки. От ее качества и конструкции зависят эксплуатационные характеристики всей установки, ее эргономичность и надежность. Проектирование вакуумной камеры – это сложная многопараметрическая задача, которую всегда следует доверять профессионалам. Научно-производственное предприятие «УВН» предлагает услуги по разработке и изготовлению вакуумных камер по техническому заданию Заказчика.

При проектировании вакуумной камеры команда Научно-производственного предприятия «УВН» учитывает:

Рабочее и остаточное давления в вакуумной камере. От значения давления зависит, прежде всего, выбор системы фланцев и уплотнений. Если предполагается работать в условиях высокого и среднего вакуума, когда остаточное давление выше 10-6 торр, обычно применяются эластомерные уплотнения и стандартные фланцы систем ISO-F, ISO-K и ISO-KF. При более низких давлениях, в диапазоне сверхвысокого вакуума, необходимо переходить на металлические уплотнения и стандарт ISO-CF, а стенки вакуумной камеры необходимо подвергать электрополировке. Кроме того, для работы со сверхвысоким вакуумом такие вакуумные камеры необходимо оснащать нагревательными системами, позволяющими разогревать стенки вакуумной камеры до температур порядка 300 – 400 °C и поддерживающими такую температуру на протяжении нескольких десятков часов.
Требования к откачной системе. Перед проектированием вакуумной камеры специалисты Научно-производственного предприятия «УВН» производят расчет вакуумной системы установки, в составе которой будет работать вакуумная камера. Это необходимо для правильного выбора расположения и конструкции фланцев откачной системы, а также для оптимизации газовых потоков в процессе откачки.
Прочность конструкции. Для минимизации затрат на материалы и изготовление вакуумной камеры в процессе проектирования проводится ряд проектных и поверочных прочностных расчетов. Ошибка в расчете приведет к неправильному выбору толщины стенки и конструкции вакуумной камеры, что может обернуться полной утратой работоспособности всей установки или к длительному поиску течей и ремонту.
Тепловые нагрузки. В зависимости от назначения установки, вакуумные камеры могут оснащаться системами охлаждения различной конструкции. Проще всего просто опаять снаружи камеру медными трубками, однако, такая система охлаждения наименее эффективна. В случае, когда во время рабочего процесса в вакуумной камере выделяется большое количество теплоты, применяют камеры с двойными стенками, между которыми протекает охлаждающая жидкость. Такое решение наиболее эффективно с точки зрения охлаждения, но и самое дорогое. Для правильного выбора конструкции системы охлаждения, начиная проектировать вакуумную камеру, мы проводим тепловые расчеты.
Удобство эксплуатации. Разумеется, не последнюю роль играет эргономика. Конструкция вакуумной камеры должна обеспечивать удобный беспрепятственный доступ ко всему размещенному внутри и на фланцах оборудованию и возможность его простого монтажа и обслуживания. Вакуумная камера установки для нанесения покрытий должна быть оборудована легкосъемными экранами, защищающими стенки от потоков материала.

Учет этих и многих других факторов лежит в основе успешного проектирования и производства вакуумных камер, осуществляемого коллективом Научно-производственного предприятия «УВН».