Новости

Была изготовлена и сдана заказчику партия из 8 планарных магнетронных распылительных систем с габаритами мишени 495х100х8мм. Устройства предназначены для нанесения покрытий на основе титана и алюминия.

Технические характеристики.

Максимальная электрическая мощность: 12 кВт;

Максимальное напряжение: 1000 В;

Материал мишени: Ti, Al, Cu, Cr и др.;

Плазмообразующий газ: Аргон, кислород, азот;

Диапазон рабочих давлений: 3х10^-4 … 5х10^-3 Торр;

Габаритные размеры (ДхШхВ): 534 х 139 х 165 мм;

Размер мишени (ДхШхВ): 495 х 100 х 8 мм.