Машиностроение (Серия Сигма)
Установки серии Сигма предназначены для нанесения функциональных покрытий методом вакуумного дугового испарения и/или магнетронного распыления в вакууме.
Установка обеспечивает нанесение износостойких, упрочняющих, термобарьерных, коррозионностойких, антифрикционных и других функциональных покрытий на изделия атомного, космического, авиационного и точного машиностроения: покрытия специального назначения для атомной промышленности, защитные и термобарьерные покрытия на элементы авиационных и электроракетных двигателей, покрытия на узлы трения, в том числе на детали, работающие в условиях космоса, покрытия на режущий инструмент и пресс-формы и матрицы.
Установка позволяет наносить металлы, сплавы, и их соединения: нитриды, карбиды, оксиды металлов. Нанесение покрытий осуществляется дуговыми испарителями и магнетронными распылительными системами, предусмотрена система прогрева напыляемых деталей. Очистка деталей осуществляется при помощи протяжённого источника ионов, или подачей электрического смещения.
Установка имеет модульную конструкцию и поставляется с унифицированными легко масштабируемыми технологическими модулями. Это позволяет в кратчайшие сроки модифицировать установку под новые задачи.
Вакуумная камера имеет D-образную форму. На боковых фланцах вакуумной камеры расположены модульные системы дугового испарения, магнетроны и источник ионов. В одном технологическом процессе могут быть задействованы до 4-х и более вакуумных дуговых испарителя и до 4-х протяженных магнетронных распылительных систем. Применение системы DynaArc™ и RotArc™ позволяет увеличить коэффициент использования материала до 80%. В дуговых испарителях применяется система инициации дуги PlasmaJet™, обеспечивающая стабильное поджигание разряда. При смене катодов исключается протечка охлаждающей жидкости в вакуумную камеру при любом положении устройств.
Кассета с обрабатываемыми деталями крепится на карусели, на которую подаётся потенциал смещения до 1500 В. Источник питания смещения обеспечивает возможность активного подавления дугообразования.
Нагрев деталей может осуществляться при помощи трубчатых электронагревателей, или электрического смещения. Контроль температуры подложек проводится бесконтактным методом широкодиапазонным пирометром. Для визуального контроля технологического процесса предусмотрено смотровое окно. Система напуска газа трёхканальная (аргон, азот, углеводороды, кислород и др.).
Сухой (безмасляный) вакуум обеспечивается спиральным насосом и турбомолекулярным насосом. Остаточное давление для чистой камеры после 30 минут откачки составляет не более 6х10-4 Па.
Технические характеристики
| Сигма-700 | Сигма-900 | |
| Рабочая зона (Ш х В), мм | 700 х 830 | 900 х 1200 |
| Материалы мишеней | Ti, Cu, Cr, Zr, Ni, пермаллой, Al, Si, сплавы и другие (С — опция) | |
| Осаждаемые покрытия | нитриды, карбиды, оксиды металлов (алмазоподобные покрытия (DLC) – опция) | |
| Количество магнетронов | 2 | |
| Количество дуговых испарителей | до 6* | до 8* |
| Количество магнетронных распылительных систем | до 4* | до 6* |
| Температура подложек | до 500о С | до 500о С |
| Вес загрузки, кг | 300 | 500 |
| Количество каналов газоподачи | 3 | |
| Предельное остаточное давление, Па | 6∙10-4 (безмасляный вакуум) | |
| Потребляемая мощность, кВт | до 50 | до 80 |
| Габариты установки (Ш х Г х В), мм | 1300 х 2300 х 2100 | 1500 х 2400 х 2400 |
| Масса установки, кг | 1500 | 2000 |
* — при одновременном размещении в вакуумной камере магнетронных распылительных систем и дуговых испарителей, их количество согласовывается отдельно.
Схема установки
Если у Вас возникли вопросы по оборудованию, и Вы готовы их обсудить напрямую с разработчиками, приглашаем Вас посетить наш демонстрационный зал. Кроме того, мы с радостью готовы предоставить Вам возможность познакомиться с оборудованием в живую, поскольку подключенная ко всем необходимым коммуникациям модель Сигма 700 представлена в нашем демонстрационном зале.
Обращаем Ваше внимание, мы готовы обсуждать любую модернизацию базовых моделей установок и технологических устройств, чтобы удовлетворить потребности Заказчика. Если Вы еще не определились с детальными требованиями к необходимому Вам оборудованию, квалифицированные специалисты помогут составить техническое задание и оптимально решить Вашу задачу.
