// +7 (499) 954 86 55
(Русский) Магнетронные распылительные системы с дисковым катодом
Технические характеристики
| МРС50 | МРС105 | |
| Диаметр катода, мм | 50 (2 дюйма) | 100 (4 дюйма) |
| Толщина катода, мм | 3 – 6 | 4 – 10 |
| Ток разряда, А | до 1,5 | до 8 |
| Напряжение разряда, В | до 700 | до 700 |
| Рабочее давление, Торр | 4·10-4 – 1·10-2 | 1·10-4 – 1·10-2 |
| Коэффициент использования материала | до 35% | до 40% |
| Магнитная система | На постоянных магнитах. Сбалансированная или несбалансированная | На постоянных магнитах / электромагнитная (опция) |
| Оптимизация выработки катода | нет | опция |
| Возможность распыления из жидкой фазы | опция | опция |
| Распыление ферромагнитных материалов | да | да |
| Посадочный фланец | DN 100 ISO-F / по чертежу заказчика | DN 160 ISO-F / по чертежу заказчика |
| Мощность, Вт | до 750 | до 3500 |
| Расход охлаждающей воды, л/мин | 0,85 | 4 |
