(Русский) Магнетронные распылительные системы с плоским протяженным катодом

Sorry, this entry is only available in Russian.

Технические характеристики

Параметр Значение
Длина катода, мм 250 – 3000
Ширина катода, мм 100
Толщина катода, мм 4 – 12
Напряжение разряда, В до 700
Рабочее давление, Торр 4·10-4 – 1·10-2
Коэффициент использования материала до 25%
Магнитная система На постоянных магнитах, сбалансированная или несбалансированная
Распыление ферромагнитных материалов да
Посадочный фланец 2хISO-KF DN40 / по чертежу заказчика
Мощность, кВт до 50 (в зависимости от длины)
Расход охлаждающей воды Зависит от мощности
Параметр Значение
Длина катода, мм 250 – 3000
Ширина катода, мм 100
Толщина катода, мм 4 – 12
Напряжение разряда, В до 700
Рабочее давление, Торр 4·10-4 – 1·10-2
Коэффициент использования материала до 25%
Магнитная система На постоянных магнитах, сбалансированная или несбалансированная
Распыление ферромагнитных материалов да
Посадочный фланец 2хISO-KF DN40 / по чертежу заказчика
Мощность, кВт до 50 (в зависимости от длины)
Расход охлаждающей воды Зависит от мощности