(Русский) Многоканальные ионные источники
Sorry, this entry is only available in Russian.
Технические характеристики
|
ИИ-50 |
ИИ-120 |
ИИ-200 |
Количество каналов |
|
|
|
Диаметр ионного пучка, мм |
2 |
5 |
5 |
Напряжение разряда, В |
до 3500 |
до 3500 |
до 3500 |
Ток разряда, мА |
до 100 |
до 300 |
до 450 |
Ионный ток пучка, мА |
до 65 |
до 250 |
до 350 |
Массовый КПД |
0,08 |
0,06 |
0,045 |
Средняя энергия ионов, эВ |
до 2500 |
до 2500 |
до 2500 |
Посадочный фланец |
DN 100 ISO-F / по чертежу заказчика |
DN 160 ISO-F / по чертежу заказчика |
DN 250 ISO-F / по чертежу заказчика |
Расход охлаждающей воды, л/мин |
0,25 |
0,625 |
1,1 |
|
ИИ-50 |
ИИ-120 |
ИИ-200 |
Количество каналов |
|
|
|
Диаметр ионного пучка, мм |
2 |
5 |
5 |
Напряжение разряда, В |
до 3500 |
до 3500 |
до 3500 |
Ток разряда, мА |
до 100 |
до 300 |
до 450 |
Ионный ток пучка, мА |
до 65 |
до 250 |
до 350 |
Массовый КПД |
0,08 |
0,06 |
0,045 |
Средняя энергия ионов, эВ |
до 2500 |
до 2500 |
до 2500 |
Посадочный фланец |
DN 100 ISO-F / по чертежу заказчика |
DN 160 ISO-F / по чертежу заказчика |
DN 250 ISO-F / по чертежу заказчика |
Расход охлаждающей воды, л/мин |
0,25 |
0,625 |
1,1 |