Торцевые вакуумные дуговые испарители

В торцевых вакуумных дуговых испарителях применяются цилиндрические катоды диаметром, как правило, от 50 до 180 мм, с торцевой поверхности которых происходит испарение материала. Преимуществом таких испарителей является возможность установки на стандартные фланцы ISO-F/ISO-K или другие фланцы соответствующих размеров. Благодаря этому технологией вакуумного дугового испарения могут быть оснащены любые вакуумные установки. 

Так как поток испарённого материала в дуговом испарителе пропорционален току разряда, использование кластеров торцевых дуговых испарителей (установленных в ряд нескольких устройств), идеально подходит для нанесения равномерных покрытий на крупную партию деталей, либо на крупногабаритные изделия без потери производительности толщиной до 20 мкм и более. 

Испаритель серии ТДИ-150 по желанию Заказчика может быть оснащён уникальными системами оптимизации выработки катода DynaArc™ или RotArc™. Инициация разряда обеспечивается системой поджига PlasmaJet™, обеспечивающей надёжный, стабильный и уверенный поджиг разряда. Ресурс устройства поджига не менее 2500 срабатываний.

Дуговой испаритель серии ВКДИ-100 имеет внутрикамерное исполнение c креплением на фланце вакуумной камеры. Такое решение позволяет оперативно изменять положение устройства относительно подложки в широких пределах. По желанию заказчика испаритель может быть оснащён системой косвенного охлаждения катода, позволяющей производить его замену без слива охлаждающей жидкости. Вся процедура замены в этом случае занимает не более одной минуты.

Технические характеристики

ТДИ-80 ТДИ-150МС ВКДИ-100
Диаметр катода, мм 80 150 100
Толщина катода, мм 32 25 40
Материал катода Ti, Cr, Zr, Al, Cu, их сплавы, нерж. сталь
Ток разряда, А до 150 до 150 до 150
Напряжение разряда, В 18 – 22 18 – 36 18 – 22
Коэффициент использования материала до 50 % до 80 % До 45 %
Управление движением катодной привязкой нет DynaArc™ или RotArc™ нет
Устройство зажигания разряда PlasmaJet™
Посадочный фланец DN160 ISO-F/ по чертежу заказчика DN200 ISO-F / по чертежу заказчика DN64 ISO-F/ по чертежу заказчика
Мощность, Вт до 3300 до 4000 до 3300
Расход охлаждающей воды л/мин 2 2,8 2