Бессеточные ионные источники

Холловские ускорители ионов с сильно расходящимся ионным пучком

Бессеточные ионные источники (БИИ) – подвид холловского ускорителя ионов с сильно расходящимся ионным пучком. Благодаря большой площади единовременно обрабатываемой поверхности, равномерному распределению плотности ионного тока в пучке по радиусу и энергии ионов до 300 эВ БИИ получили широкое распространение в процессах ионного травления, очистки и ассистирования. БИИ могут выполняться по двум конструктивным схемам: с плавающим (end-Hall) и с анодным потенциалом задней стенки разрядной камеры. В первом случае достигаются бо́льшие значения ионного тока и средней энергии ионов в пучке. Вторая схема отличается упрощённым обслуживанием и сниженной эрозией элементов конструкции ионного источника.

Технические характеристики

  БИИ-5СО БИИ-5БО БИИ-10отр БИИ-15отр
Напряжение разряда, В До 300 До 300 До 300 До 300
Ток разряда, А До 5 До 5 До 10 До 15
Мощность разряда, кВт До 1,5 До 0,4 До 3,0 До 4,5
Рабочий газ Аргон, криптон, ксенон, азот, кислород
Потенциал задней стенки разрядной камеры Анодный Плавающий
Охлаждение Водяное — Водяное Водяное
Расход охлаждающей воды, л/мин Не менее 8 — Не менее 10 Не менее 12
Катод-нейтрализатор Нить накала или «плазменный мост»
Исполнение Внутрикамерное