Торцевой вакуумный дуговой испаритель с изменяемым положением катода

Дуговой испаритель серии ВКДИ-100 имеет внутрикамерное исполнение c креплением на фланце вакуумной камеры. Такое решение позволяет оперативно изменять положение устройства относительно подложки в широких пределах. По желанию заказчика испаритель может быть оснащён системой косвенного охлаждения катода, позволяющей производить его замену без слива охлаждающей жидкости. Вся процедура замены в этом случае занимает не более одной минуты.