(Русский) Ионные источники с фокусировкой ионного пучка

Sorry, this entry is only available in Russian.

Технические характеристики

ИИ-100 ИИ-200
Диаметр канала, мм 100 200
Ширина канала, мм 5 5
Фокусное расстояние, мм 400 / в соответствии с ТЗ 400 / в соответствии с ТЗ
Диаметр зоны обработки на расстоянии 400 мм от ионного источника От 30 мм до 150 мм От 50 мм до 250 мм
Напряжение разряда, В до 3500 до 3500
Ток разряда, мА до 150 до 250
Ионный ток пучка, мА до 135 до 225
Массовый КПД 0,08 0,06
Средняя энергия ионов, эВ до 2500 до 2500
Посадочный фланец Внутрикамерный / DN 160 ISO-F / по чертежу заказчика Внутрикамерный /DN 250 ISO-F / по чертежу заказчика
Расход охлаждающей воды, л/мин 0,375 0,625
ИИ-100 ИИ-200
Диаметр канала, мм 100 200
Ширина канала, мм 5 5
Фокусное расстояние, мм 400 / в соответствии с ТЗ 400 / в соответствии с ТЗ
Диаметр зоны обработки на расстоянии 400 мм от ионного источника От 30 мм до 150 мм От 50 мм до 250 мм
Напряжение разряда, В до 3500 до 3500
Ток разряда, мА до 150 до 250
Ионный ток пучка, мА до 135 до 225
Массовый КПД 0,08 0,06
Средняя энергия ионов, эВ до 2500 до 2500
Посадочный фланец Внутрикамерный / DN 160 ISO-F / по чертежу заказчика Внутрикамерный /DN 250 ISO-F / по чертежу заказчика
Расход охлаждающей воды, л/мин 0,375 0,625
ИИ-100 ИИ-200
Диаметр канала, мм 100 200
Ширина канала, мм 5 5
Фокусное расстояние, мм 400 / в соответствии с ТЗ 400 / в соответствии с ТЗ
Диаметр зоны обработки на расстоянии 400 мм от ионного источника От 30 мм до 150 мм От 50 мм до 250 мм
Напряжение разряда, В до 3500 до 3500
Ток разряда, мА до 150 до 250
Ионный ток пучка, мА до 135 до 225
Массовый КПД 0,08 0,06
Средняя энергия ионов, эВ до 2500 до 2500
Посадочный фланец Внутрикамерный / DN 160 ISO-F / по чертежу заказчика Внутрикамерный /DN 250 ISO-F / по чертежу заказчика
Расход охлаждающей воды, л/мин 0,375 0,625
  ИИ-100 ИИ-200
Диаметр канала, мм 100 200
Ширина канала, мм 5 5
Фокусное расстояние, мм 400 / в соответствии с ТЗ 400 / в соответствии с ТЗ
Диаметр зоны обработки на расстоянии 400 мм от ионного источника От 30 мм до 150 мм От 50 мм до 250 мм
Напряжение разряда, В до 3500 до 3500
Ток разряда, мА до 150 до 250
Ионный ток пучка, мА до 135 до 225
Массовый КПД 0,08 0,06
Средняя энергия ионов, эВ до 2500 до 2500
Посадочный фланец Внутрикамерный / DN 160 ISO-F / по чертежу заказчика Внутрикамерный /DN 250 ISO-F / по чертежу заказчика
Расход охлаждающей воды, л/мин 0,375 0,625