(Русский) Торцевые вакуумные дуговые испарители

Sorry, this entry is only available in Russian.

Технические характеристики

Сигма 700 Сигма 900
Рабочая зона (Ш х В), мм 700 х 830 900 х 1200
Испаряемые (распыляемые)
материалы		 Ti, Cu, Cr, Zr, Ni, Fe, Al, Si, сплавы, С и другие
Осаждаемые покрытия нитриды, карбиды, оксиды металлов,
алмазоподобные покрытия (DLC)
Количество магнетронов 2 2
Количество испаряемых за цикл материалов дуговым испарителем 4 6
Сигма 700 Сигма 900
Рабочая зона (Ш х В), мм 700 х 830 900 х 1200
Испаряемые (распыляемые)
материалы		 Ti, Cu, Cr, Zr, Ni, Fe, Al, Si, сплавы, С и другие
Осаждаемые покрытия нитриды, карбиды, оксиды металлов,
алмазоподобные покрытия (DLC)
Количество магнетронов 2 2
Количество испаряемых за цикл материалов дуговым испарителем 4 6